全平面化导模光学斯格明子链路(方案 A)

片上发射 → 片上传播 → 片上接收。Stokes 斯格明子以 HE11⁺ + HE21⁻ 导模叠加的形式在二氧化硅 PLC 少模总线中传播: SOI 发射芯片用 MZI 网格编程 6 个复振幅,PLC 模式复用器把它们装入总线,接收端 SOI 芯片用 PSInverse 逆向设计的 90° 混频器做相干全场探测并重建 skyrmion number。 所有器件均由 PhotonStack 求解器(PSMEME FDE/EME、PSFDTD/PSInverse)设计。第一部分(自由空间发射 + 片上 Stokes-ring 验证)见 此页。

PhotonStack · PSMEME FDEPhotonStack · PSMEME EMEPhotonStack · PSFDTD / PSInverse SOI 220 nm + SiO₂ PLC Δ1.5 %1530–1570 nmRTX 4090 GPU2026-10

0概要

端到端测得 N(3 mm,1550 nm)
-0.97 / 0.97 / 0.00
HE21e−HE21o(缺角 a* = 1.711 µm)
1.7e-07 (平直芯 5.3e-05)
复用器插损 / 串扰(1530–1570)
≤0.13 dB / ≤-26 dB
端面 SSC(TE / TM)
0.965 / 0.956
90° 混频器(h3d_b)相位误差
1.5° IL 0.60 dB
制造 MC 良率(预补偿,30 mm)
1.00 (自由传播 10 mm:0.10)
核心结论:(1)方形少模芯中 HE21e/HE21o 的本征分裂让导模斯格明子每 ~7 mm 解缠一次;在三层工艺中给芯的四角各切去 a* = 1.711 µm, 保持 C4v 对称并使二者简并,理想总线上 N 在 50 mm 内恒定。(2)方形弱导芯里 TM01 与 HE21 几乎简并(~6e-6),宽/高、套刻误差会共振地耦合它们, 被动保护长度在 ±0.05 µm 工艺下为毫米量级;(3)因此系统采用相干全场接收 + 在线标定的 Tx 预补偿,在 30 mm 总线、完整制造误差模型下仍以 ≥ 0.99 的良率交付 N = −1。

1原理:导模 Stokes 斯格明子

弱导少模波导的 6 个矢量模 {HE11x, HE11y, TM01, TE01, HE21e, HE21o} 张成横向偏振场空间。取 σ+ 圆偏振基模 HE11⁺ = HE11x + iHE11y 与反手性的涡旋 HE21⁻ = HE21e − iHE21o(σ−、ℓ = −1)相叠加:芯中心只有 HE11 → Stokes 矢量在北极;外围 LP11 衰减较慢 → 南极;中间方位角绕一圈, s 覆盖整个 Poincaré 球一次,N = −1。镜像态 HE11⁻ + HE21⁺ 给出 N = +1,单独 HE11⁺ 为 N = 0。二者传播常数之差只让纹理以 λ/(n01 − n11) ≈ 0.22 mm 的周期 在 Néel 与 Bloch 型之间旋转(螺旋度),不改变 N。

bus vector modes
缺角总线的 6 个矢量模(PSMEME FDE,强度 + 横向电场)。有效折射率为 0.1/0.05 µm 网格 Richardson 外推值。
textures
端到端仿真中的纹理(s3 颜色,箭头为 s1, s2):总线入口、3 mm 后的出口(螺旋度已旋转)、接收端重建。三行分别为 N = −1、+1、0。

2整体架构与系统框图

SOI Tx 芯片 二氧化硅 PLC(石英衬底,Δ1.5 %,三层芯) SOI Rx 芯片 激光 1×2 5-MZI 二叉树+ 6 热光移相器 3×PSR反向偏振合束+ SSC 6×6 LO 单模波导(共用激光,相干参考) A→LP01锥 400 µmB→ADC#1C→ADC#2 转子LP11a→ba* 缺角 过渡区0.8 mm 缺角少模总线HE11⁺+HE21⁻, N=±1 过渡区 解复用= 复用器ᵀ(互易) SSC+3×PSRx→直通 y→交叉 6×90° 混频器PSInverse 逆向设计24 Ge PD 平衡探测→ 6 复振幅 DSP:v = T_rx⁻¹ y → E(x,y) → Stokes→ Berg–Lüscher N(及 Tx 预补偿标定) Tx 编程:x = T_tx⁻¹ v_target(或 M⁻¹ T_rx v_target:在线标定预补偿)
  • 通道:3 空间通道(A→LP01,B→LP11b,C→LP11a)× 2 偏振(x = SOI TE,y = SOI TM)= 6 个复振幅,正好张成总线 6 维矢量模空间。
  • 发射:激光 1×2 分出 LO;另一路经 5 个 MZI 的二叉树与 6 个移相器得到任意 6 维复矢量(11 个热光相位,最小二乘编程;MMI 不平衡被吸收);PSR 反向使用把每对 TE 合成同一波导的 TE0 + TM0。
  • 传播:PLC 复用器(LP01 锥 + 两个 LP11a 非对称定向耦合器 + 角缺口 LP11 转子)→ 平直/缺角过渡区 → 拓扑保持总线 → 镜像解复用(互易,传输矩阵为复用器的转置)。
  • 接收:SSC → PSR(TE0 直通 = x,TM0 → 交叉 TE0 = y)→ 6 个 90° 混频器与共用 LO → 24 个 Ge PD → 6 个复振幅 → v = T_rx⁻¹ y → 总线场 → Stokes → N。
  • 预补偿:Rx 以训练态测端到端 6×6 矩阵 M(含总线全部制造误差),Tx 发送 M⁻¹ T_rx v_target,使总线出口的场就是目标斯格明子。

3系统版图

GDS:skyrmion_link.gds(klayout.db 生成)。PLC 20.7 mm(含 3 mm 总线),SOI Tx 4.5 mm,SOI Rx 4.0 mm;端口间距 127 µm(LO, B, A, C)。

full link
全链路:SOI Tx | PLC(复用器 – 缺角总线 – 解复用器)| SOI Rx。
mux
PLC 复用器:端面喇叭(6 µm)、A 的 LP01 锥、B/C 的 S 弯(R ≥ 2 mm)与 ADC、剩余光引出吸收。
adc
ADC#1:间隙 7 → 2.5 µm 升余弦引入 600 µm,耦合段 450 µm。
rotator
转子(仅 CORE_TOP 一侧缺 a*)与过渡区(CORE_BOT/CORE_TOP 两侧各收窄 a*)。三层芯掩膜一套完成全部器件。
soi tx
SOI Tx:MZI 树叶子按端面顺序(B-x, B-y, A-x, A-y, C-x, C-y)出射,光路零交叉;移相器错位排布,信号金属到上下焊盘、地线在第二层金属。
soi rx
SOI Rx:6 个混频器阶梯排布,每路 LO 分支在所有更高的 LO 走线之下、所有更右的混频器之前下降,因此 LO 与信号无交叉。
hybrid
PSInverse 90° 混频器版图(h3d_b 设计,4.0 × 3.6 µm,25 nm 像素,二值化后合并为多边形)。

4拓扑保持总线 PSMEME · FDEPSMEME · EME

8×8 µm 方形芯属 C4v,HE21e(B1)与 HE21o(B2)不简并:收敛的 FDE 给出 HE21e−HE21o = -5.26e-05,HE21⁻ 每 λ/(4Δn) = 7.4 mm 就转成 HE21⁺,N 在 −1 与 +1 之间振荡。四角等大缺角保持 C4v,选择性降低"角向"模式;扫描并正则化求根得到 a* = 1.711 µm, HE21e−HE21o = -1.7e-07(1530/1570 nm 处同量级,宽带零点),HE11x/y 仍严格简并。

notch scan
三层芯截面与模式分裂随缺角 a 的变化。1e-6 量级的分裂需要网格收敛:d = 0.2 µm 甚至给出错误的符号,这里用 0.1/0.05 µm 两级 Richardson 外推。
N(z)
N 沿总线:平直芯约每 30 mm 振荡一周期;缺角芯理想情况下恒定;宽度误差 0.02/0.05 µm 或套刻误差 0.05 µm 时 N 在 10–30 mm 内被破坏(见第 7 节)。

平直 → 缺角过渡区:上/下层宽度 8 → 4.578 µm,0.8 mm、16 段 EME:插损 < 0.001 dB,组间泄漏 < −100 dB,严格幺正。

数值要点:FDE 对简并 HE11 对可能返回"复正交"混合(cosh t·x + i sinh t·y),满足非共轭归一却不功率正交,使 EME 端口投影出现 σ₁σ₂ = 1 型的伪非幺正。 改为从简并组的实部/虚部张成实本征子空间、实重叠正交化后再用模板极分解旋转,端口 Gram 误差降到 1e-15,过渡区与复用器全部回到幺正。

5模式复用 / 解复用器 PSMEME · EME

器件结构结果(1550 nm)1530–1570 nm
接入波导2.95 × 8 µm(相位匹配 LP11),端面喇叭到 6 µmn = LP11 组—
LP01 锥2.95 → 8 µm,400 µm≥ 0.9995≥ 0.998
LP11a ADC ×2间隙 2.5 µm,Lc 450 µm,600 µm 升余弦0.990 / 0.991 (x/y)≥ 0.972
LP11a→LP11b 转子CORE_TOP 一侧方形缺角 a*,930 + 2×300 µm0.9957≥ 0.9956
复用器(组装)EME 块 + 200 µm 本征模传播段IL ≤ 0.04 dB,条件数 1.007IL ≤ 0.13 dB,条件数 ≤ 1.018,串扰 ≤ -26.2 dB
mux matrix
复用器空间通道功率矩阵(dB,两偏振平均)。

6SOI 收发器件 PSMEME · EMEPSFDTD · PSInverse

器件方法结构结果
PSRFDE + EME60 µm 双层锥(90 nm 平板)+ TE1→TE0 ADC 20 µm(窄臂 0.433 µm,间隙 0.2 µm) TE0 直通 0.9997;TM0→交叉 0.987(带内 0.93–0.993);串扰 < −70 dB
MZI 树EME(MMI 2×2)+ 链路模型5 个 MZI + 6 移相器MMI 0.523/0.427 不平衡下仍能精确合成任意 6 维复矢量(保真度 1.000)
端面 SSCEME(Si 反锥 + 覆盖芯 + PLC 接头)Si 0.45→0.22 µm(60 µm)→ 0.08 µm(600 µm),嵌在 6×6 µm 覆盖芯(n = PLC 芯)中 进入 PLC 6×8 µm 基模:TE 0.965,TM 0.956(0.15 / 0.19 dB)
90° 混频器PSInverse(相干伴随:dF = 2Re Σ G dS,G 为 Wirtinger 梯度)4.0 × 3.6 µm,25 nm 像素,2 入 4 出,三波长联合 h3d_b:IL 0.60 dB,不平衡 0.56 dB,相位误差 1.5°(2D:0.37 dB / 0.59 dB / 2.0°)

混频器:3D PSFDTD(PSInverse:2D 设计热启动,β = 8→64 投影 120 次迭代,再 β = 128→512 收敛二值化 30 次;表中为硬阈值后的最终几何)。PSInverse 原生只优化通道功率;这里把伴随梯度推广到任意复振幅目标 F(S):dF/dε = 2Re Σ K_j E_adj,j Σ_i G_ij/√norm_i · E_i, 目标为功率均分项 Σ(|S|² − ¼)² 加相位项 16Σ|u_j − c_j ū|²(u_j = S_1j S_0j*,c = (1, −1, i, −i))。

单一 Si 反锥无法同时扩展 TE 与 TM(最佳 min(TE, TM) 仅 0.59,TE 尖端模截止);覆盖芯 SSC 与 PLC 芯同折射率、近乎同形,偏振无关;两段式锥把长度用在 TE(≈0.18 µm)/TM(≈0.13 µm)相位匹配区。 需局部去衬底或 BOX ≥ 4 µm。

hybrid history
PSInverse 优化历史(1530/1550/1570 nm 最差值):2D 设计 190 次迭代 → 3D 热启动 β = 8→64(120 次)→ β = 128→512 二值化收敛(30 次)。

7工艺容差:拓扑保护的边界

扰动总线用标称矢量模基下的 6×6 折射率算符 H = U diag(n) U⁻¹ 描述;8 个几何参数(中层宽/厚、上/下层厚度、缺角、套刻)的灵敏度矩阵 ∂H/∂p 由 FDE 中心差分得到 (线性化误差 ≤ 2e-6),应力双折射用一阶微扰。选择定则一目了然:宽高误差(B1)耦合 TM01↔HE21e 与 TE01↔HE21o(≈4.3e-4 /µm),套刻误差耦合 TM01↔HE21o(≈6.3e-4 /µm)。 方形弱导芯中 TM01 与 HE21 仅相差 ~6e-6(更高 Δ 只拉开 TE01:Δ = 3 % 时 2.2e-4,TM01 仍 ≤ 4e-5),这些耦合近乎共振。

tolerance
单参数容差(保持 N < −0.9)。应力双折射 ≤ 1e-5 可到 30 mm。
bus mc
自由传播 Monte Carlo(σ_宽 = σ_厚 = 0.05 µm,σ_层 = 0.03 µm,σ_套刻 = 0.05 µm,σ_应力 = 5e-6):缺角总线 3 mm 良率 0.94(σ/2)/ 0.45(σ);平直芯 0.00。

8系统级仿真(器件 S 矩阵级联 + 噪声 + Monte Carlo)

项目结果
标称链路 3 mm:A / B / U,1530 / 1550 / 1570 nmN_measured = -0.972 / -0.968 / -0.963(A);B 为相反数;U:0.002。N_in = N_out = N_measured
Tx→总线 / 总线→Rx 插损(SSC + PSR + 复用器 + 过渡区,不含 MMI 树与 LO 分路)0.22 dB / 0.22 dB
可编程族:c = 0.3…4,γ = 0, π/2, πN_measured -0.97 … -0.85(c 小时纹理外缘超出 24 µm 计算窗口)
接收噪声(散粒 + 100 e⁻ 热噪声)100 e⁻/PD:N = -0.95 ± 0.08;1000 e⁻/PD:± 0.009;10⁴ e⁻/PD:± 0.002
端到端 MC:总线制造误差 + 复用/解复用 0.05 rad 随机幺正 + 0.02 rad 热光/LO 相位 + 1 % 标定误差 + 10⁴ e⁻ 自由传播:3 mm 0.42,10 mm 0.10;预补偿:3 / 10 / 30 mm 1.00 / 1.00 / 1.00(良率 = P(N < −0.9))
noise
测得 N 与每个 PD 的信号光电子数。
mc hist
端到端 MC 的 N 分布(真实总线出口 vs 接收端测量)。

9PhotonStack 求解器、运行环境与运行时间

求解器本部分用途
PSMEME · FDE少模总线与缺角扫描(含 Richardson 收敛)、灵敏度矩阵、接入波导、SSC 尖端与覆盖芯、PSR 截面
PSMEME · EMEADC、LP01 锥、角缺口转子、平直/缺角过渡区、PSR、MMI、SSC 全链(含 PLC 接头)
PSFDTD · PSInverse90° 混频器 2D → 3D 拓扑优化(每次迭代:3 波长 × 2 入射的正向 + 伴随 FDTD)
分析层skyrmion.plc / fmbus / link / layout_link / inverse:端口投影、扰动算符、链路模型、版图、相干伴随目标

硬件:AMD Ryzen 9 9950X(16 核)、64 GB、NVIDIA RTX 4090 24 GB;Windows 11;PSMEME fde 0.1.0(cpu + cuda),PSFDTD 0.1.0(FP32),Python 3.12,klayout 0.30。

任务(实测墙钟)时间
FDE notched bus, 10 modes, 14400 cells (d = 0.2 um) [cuda]0.5 s
FDE notched bus, 10 modes, 57600 cells (d = 0.1 um) [cuda]0.8 s
FDE notched bus, 10 modes, 230400 cells (d = 0.05 um) [cuda]2.8 s
EME LP11 ADC (33 sections, 24 modes, 165x120 grid) [cuda]6.3 s
EME corner-notch rotator (18 sections, 16 modes) [cuda]2.7 s
EME LP01 taper (22 sections, 16 modes) [cuda]5.2 s
EME plain->notched transition (16 sections, 16 modes) [cuda]4.2 s
bus sensitivity matrices dH/dp (16 FDE solves, d = 0.05 um) [cuda]45.3 s
end-to-end system study (3 wl x 3 states, N(z), noise 240 runs, MC 1000 links)266.7 s
PSInverse 90-deg hybrid h2d: per iteration (fwd + adj FDTD, 3 wavelengths)2.5 s
PSInverse 90-deg hybrid h2d: total (190 iterations)476.4 s
PSInverse 90-deg hybrid h3d: per iteration (fwd + adj FDTD, 3 wavelengths)74.4 s
PSInverse 90-deg hybrid h3d: total (120 iterations)148.7 min
PSInverse 90-deg hybrid h3d_b: per iteration (fwd + adj FDTD, 3 wavelengths)47.8 s
PSInverse 90-deg hybrid h3d_b: total (30 iterations)23.9 min

FDE/EME 计时在 GPU 同时运行 3D 逆向设计时测得。方案 A 全部器件与系统研究的总计算时间约 4.5 h,其中 3D 混频器优化约占一半以上。

10结论与分析

  • 可行:发射、传播、接收全部在片上;导模斯格明子在端到端仿真中保持 N = ±1 / 0,三个波长一致;SSC、PSR、复用器、过渡区的总插损单程约 0.4 dB。
  • 拓扑保持的物理来源:N 只在 HE21e/HE21o 简并时沿 z 不变;三层工艺的四角缺口(a* = 1.711 µm)把本征分裂从 5.3e-05 降到 ~1e-7,并且与 LP11 转子共用同一掩膜层。
  • 保护的边界:方形弱导芯 TM01≈HE21 是结构性的,B1/B2 类制造误差把 HE21⁻ 共振地转成 TM01/TE01 组合;±0.05 µm 工艺下被动保护约 3 mm(宽/厚 ≤ 0.02 µm 可到 10 mm)。
  • 系统解决方案:相干全场接收本身即是"斯格明子计";用它做在线标定并在 Tx 预补偿,30 mm 总线在完整误差模型下仍以 ≥ 0.99 良率交付 N = −1,重建保真度 0.998(受解复用器未知误差限制)。
  • 下一步:圆化/多级缺角或环形芯以拉开 TM01;PSR 的 TM 支路宽带化;SSC 衬底处理;版图级弯曲损耗与热串扰;用 PSFDTD 做 SSC/PLC 接头的全波验证。